X1 轴 ◆
测量范围: 50mm (CV-1000) 或 100mm(CV-2000)
◆ 分辨率: 0.2μm
◆ 检测方法: 反射型线性编码器
◆ 驱动速度: 0.2, 1mm/s 和手动
◆ 直线度: 3.5μm/50mm (CV-1000),3.5μm/100mm (CV-2000)
* 当X 轴在水平方向上 指示精度: ±(3.5+2L/100)μm * L 为驱动长度(mm)
倾斜范围: ±45° (CV-2000) Z2 轴(立柱，仅用于CV-2000)
◆ 立柱类型: 电动(S4 型) 和手动(M4 型)
◆ 垂直行程: 250mm (S4 型), 320mm (M4 型)
◆ 分辨率: 0.2μm (S4 型)
◆ 检测方法: ABSOLUTE 线性编码器 (S4 型)
◆ 驱动速度: 0 - 5mm/s 和手动 Z1 轴 (检测器)
◆ 测量范围: 25mm (CV-1000) 或 40mm (CV-2000)
◆ 分辨率: 0.4μm (CV-1000) 或 0.5μm (CV-2000)
◆ 检测方法: 弧形编码器
◆ 指示精度: ±(3.5+I4HI/25)μm (20° C 时) *H 为水平位置上的测量高度 (mm)
◆ 测针上／下运作: 弧形运动
◆ 测针方向: 向下
◆ 测力: 10 - 30mN
◆ 跟踪角度: 向上：77°、向下：87°(根据表面粗糙度，使用标准单切面测针)
◆ 测针针尖 半径: 25μm、硬质合金针尖
◆ 基座尺寸(W x H): 750 x 600mm (CV-2000)
◆ 基座材料: 花岗岩 (CV-2000)
◆ 重量: 5kg (CV-1000N2),115.8kg (CV-2000M4),124kg (CV-2000S4)
◆ 电源: 100 - 240VAC ±10%, 50/60Hz
◆ 能耗: 150W (仅限主机) |
